1. ?納米級熱穩(wěn)定性?

大理石的熱膨脹系數(shù)（4.5×10??/℃），溫度變化1℃時形變僅為鋼件的1/50?。在光刻機(jī)長時間運(yùn)行（如EUV光刻機(jī)需維持±0.1℃溫控）時，這種特性可避免基座熱漂移，掩模臺與工件臺的亞納米級套刻精度（ASML EUV光刻機(jī)要求<1.4nm）?。

2. ?減震與高剛性?

大理石的阻尼特性可吸收80%以上機(jī)械振動，其肖氏硬度HS70+的剛性結(jié)構(gòu)能抵抗高速運(yùn)動（工件臺速度達(dá)1m/s，加速度40m/s2）產(chǎn)生的慣性力，避免納米級定位誤差?。

3. ?與潔凈兼容性?

· ?耐化學(xué)腐蝕?：適應(yīng)光刻機(jī)中使用的顯影液、清洗劑（pH 2-12）?。

· ?無塵表面?：經(jīng)化學(xué)拋光后的大理石平臺可滿足ISO Class 1潔凈度要求，避免晶圓污染?。

4. ?電磁兼容性?

作為非磁性材料，大理石基座不會干擾光刻機(jī)中的磁懸浮驅(qū)動系統(tǒng)（如直線電機(jī)模組），電磁定位精度（±0.1μm）?。

5. ?長期精度保持?

時效性使大理石內(nèi)應(yīng)力消失，在20年使用周期內(nèi)平面度誤差可控制在±0.001mm內(nèi)，遠(yuǎn)優(yōu)于金屬基座?。